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行程 |
300*300mm |
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分辨率 |
20nm |
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绝对定位精度 |
±300nm |
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反复定位精度 |
±100nm |
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速度 |
1m/s |
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加快度 |
1G |
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地位不变性 |
±20nm |
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行走平面度 |
±1um |
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直线度 |
±1um |
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Pitch |
±2arcsec |
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Yaw |
±2arcsec |
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Roll |
±2arcsec |
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XY正交度 |
±1μm |
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13655559489 （孙经理）